干涉光刻，共振干涉法的公式

干涉光刻，共振干涉法的公式

采用逐差法处理数据。后面的四项分别减去前面的四项，即N i+4 - N i =2被波长。i=1,2,3,4。取N i+4 - N i 的平均值，再除2就是波长。波长乘以频率就是波速了。最后就是测得的波速和理论值之间的百分误差=（测得的波速减去理论值）绝对值/理论值

付费内容限时免费查看回答您好，您的问题小桃已经看到了，小桃正在整理答案，请稍等一会儿哦?是说在曝光过程中在硅片表面的光刻胶上产生的效应么？可能名称不一样吧，我个人觉得是由于光的干涉产生的，可以通过调整光刻胶的厚度来调整。在LCD制造过程中，光刻是重要的一道工序，其目的是利用化学的和物理的方法在ITO玻璃上涂覆一层致密的光刻胶膜，然后覆盖掩膜版用紫外线进行选择性照射，然后经过显影露出不需要的ITO部分，用强酸腐蚀掉，需要保留的ITO部分由于光刻胶的保护而保留下来，最后洗掉光刻胶，就在ITO玻璃上形成了我们需要的图形。而在这道工序的过程中，光刻针孔是很常见的一种过程缺陷，光刻针孔其实是在光刻过程中形成的表面光刻胶膜的微小缺失，一般尺寸很小，目视很难发现，本应覆盖着ITO玻璃表面的光刻胶膜上出现了缺失，在刻蚀时针孔内的ITO得不到光刻胶的保护会被腐蚀掉，这样在本该得到保留的ITO图形中就出现了和针孔形状相同的缺失，在加电显示时就会造成显示针孔甚至断路的缺陷，如图2所示。在过程检验中，想要发现光刻的针孔是比较困难的，因为较小的尺寸使得用肉眼很难发现，用显微镜又很难做到整片玻璃的全面检查，因此往往在最后的通电测试中才能发现，造成无法挽回的损失。原因分析根据在实际生产过程中遇到的问题，需要对原材料、设备、工艺等各方面进行了综合分析，总结出光刻针孔产生的原因有以下几种：光刻胶中存在小气泡，在涂覆过程中受涂胶辊挤压气泡破裂，在玻璃的相应部位就会产生针孔，形状为圆形或近似圆形，涂胶辊与光刻胶的结合性弱造成涂胶辊沟槽内不沾胶，涂覆后就会形成针孔，形状一般为和沟槽形状相似的长条形。ITO玻璃清洗不净，玻璃有油污或颗粒造成表面不粘胶。显影设备不合适会形成针孔，正常情况下，显影槽连接着排风装置，由于显影槽的顶盖密封性很好，因此产生负压，空气从显影槽入口进入，形成吹向显影槽内的气流，该气流可以起到阻止喷射显影液产生的溅射液滴落在玻璃上的作用。但如果显影槽变形或破损，破坏了气密性，外部空气从顶盖处流向了槽内，使得溅射液滴会落在玻璃上，在外部空气的流动作用下加速了显影液的蒸发，使得碱浓度迅速上升，达到一定浓度后就会腐蚀掉光刻胶，形成针孔，尤其是当流水线由于异常而报警停线时，此现象尤为严重。根据针孔形成的各种原因，需要根据实验确定不同的解决措施:对于第一种原因，光刻胶中存在的气泡是在运输和搬运过程中的由于晃动造成的，在涂胶时观察涂胶辊两侧可见明显的气泡，这是由于光刻胶受到辊子挤压而流向涂胶辊两端，因此有部分气泡随光刻胶流到了两端，在生产过程中的解决办法也比较简单，那就是静置12小时后再使用，效果比较明显，观察涂胶辊两端几乎看不到气泡，涂胶后检查也几乎看不到气泡。以上就是小桃的回答了，希望小桃的回答能对您有帮助欧殺可以的话能给小桃一个赞嘛亲?谢谢，祝您生活愉快，再见~\x14\x08更多7条

干涉现象是波满足一定条件的叠加，透射光只要和另一列光满足干涉条件相互叠加当然能产生干涉现象。具体解释要看具体问题。

当然可以，但相位不同。以牛顿环为例，反射光干涉形成的光场中亮条纹出现的地方恰好是折射光场中暗条纹出现的地方。也可以理解为能量守恒的一种表现，光场中某一区域，能量一定，反射的多了，透射的必然少了！

光的干涉时遵守波的叠加，相反波所呈现的暗条纹是波的叠加是量子物理里的，所以这个问题忽视了机械波与光波的区别，用经典的波动理论来解释光波的干涉现象。也就是说不能拿宏观能量解释量子能量。

强度相等的时候条纹对比度最大，就是最亮的地方和最暗的地方差别最大，所以效果最好，而且强度相同也最容易做到，所以演示实验里面两束光的强度是相同的。但这并不表明光强是干涉产生的条件，光强不同照样能产生干涉，只是对比度小了点，条纹不像那么明显了。

光的衍射和干涉其实本质上是一回事，都是若干相干光线的相干叠加。只不过，干涉是有限条光线的相干叠加，可以直接代数相加。衍射是无限条光线的叠加，必须积分计算。1801年，英国物理学家托马斯·杨(1773—1829)在实验室里成功地观察到了光的干涉．两列或几列光波在空间相遇时相互叠加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。光在传播过程中，遇到障碍物或小孔时，光将偏离直线传播的途径而绕到障碍物后面传播的现象，叫光的衍射（diffraction of light）。 光的衍射和光的干涉一样证明了光具有波动性。

光绕过障碍物偏离直线传播路径而进入阴影区里的现象，叫光的衍射衍射的条件是当孔或者障碍物的尺寸小于或者等于波长的时候，光才能发生明显的衍射现象.干涉在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象，如果光真的是一种波，就必然会观察到光的干涉现象．两个振动情况总是相同的波源叫相干波源，只有相干波源发出的光互相叠加，才能产生干涉现象，干涉现象是在屏上出现稳定的亮暗相间的条纹。

政府干预应该遵循国家统一决策原则、社会经济发展总体平衡原则、协调原则、引导鼓励原则、预期原则。国家干预亦称宏观调控，是政府对国民经济的总体管理，是一个国家政府特别是中央政府的经济职能。政府干预应该遵循这些原则：1、国家统一决策原则。凡是关于国家宏观经济调控的决策应当统一归属于国家的权利机关——全国人民代表大会。国务院在拟定关于国家宏观经济政策或者行政法规后应当报经全国人民代表大会（或其常务委员会）表决通过后实施。2、社会经济发展总体平衡原则。市场经济发展必然带来发展不平衡的问题，而宏观经济调控则是要解决这种不平衡。3、协调原则。4、引导鼓励原则。5、预期原则。国家干预亦称宏观调控(Macro-economic Control)，是政府对国民经济的总体管理，是一个国家政府特别是中央政府的经济职能。它是国家在经济运行中，为了促进市场发育、规范市场运行，对社会经济总体的调节与控制。宏观调控的过程是国家依据市场经济的一系列规律，实现定观（总量）平衡，保持经济持续、稳定、协调增长，而对货币收支总量、财政收支总量、外汇收支总量和主要物资供求的调节与控制。运用调节手段和调节机制，实现资源的优化配置，为微观经济运行提供良性的宏观环境，使市场经济得到正常运行和均衡发展的过程。国家干预主要表现为：国家利用经济政策、经济法规、计划指导和必要的行政管理，对市场经济的有效运作发挥调控作用。

比如说有两条长绳，都贴近地面做蛇的游动状，不过形状是相错的，当鼓起来的与鼓起来的部位相合，凹下去的和凹下去的相合，其点所处的部位就是加强点或减弱点，双缝干涉就是无数条长绳结合成面，成光。单缝干涉就是拿水柱往窄缝里biao，水柱中心出去的水更多，旁边出去的水更少。薄膜干涉是同一条长绳，绳头折过来与绳尾叠加，和双缝干涉有点像。

定义　　干涉现象是波动独有的特征，如果光真的是一种波，就必然会观察到光的干涉现象．1801年，英国物理学家托马斯·杨(1773—1829)在实验室里成功地观察到了光的干涉．　　两列或几列光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件:　　只有两列光波的频率相同，位相差恒定，振动方向一致的相干光源，才能产生光的干涉。由两个普通独立光源发出的光，不可能具有相同的频率，更不可能存在固定的相差，因此，不能产生干涉现象。

在双缝干涉实验中，光屏上某点到双缝的路程差为半波长的偶数倍时，该点出现亮条纹；光屏上某点到双缝的路程差为半波长的奇数倍时，该点出现暗条纹．A、对干涉图样的研究可知：相邻两条明条纹（暗条纹）中心距离与屏到双缝的距离L成正比；与双缝间距离d成反比；与照射光的波长成正比．B、在实验装置不变的情况下化、d不变），由于红光的波长大于紫光的波长，所以红光产生的干涉条纹间距较大，紫光产生的干涉条纹间距较小；初步了解通过双缝干涉测波长的原理．C、用白光进行干涉实验，各种单色光在光屏中央均为明纹，中央亮纹是各色光复合而成，所以是白色的．各色光由于波长不同，在光屏上产生的其它各级亮纹的位置均不相同，所以其它各级亮纹是彩色的．（2）薄膜干涉让一束光经薄膜的两个表面反射后，形成的两束反射光产生的干涉现象叫薄膜干涉．A、在薄膜干涉中，前、后表面反射光的路程差由膜的厚度决定，所以薄膜干涉中同一明条纹（暗条纹）应出现在膜的厚度相等的地方．由于光波波长极短，所以微薄膜干涉时，介质膜应足够薄，才能观察到干涉条纹．B、用手紧压两块玻璃板看到彩色条纹，阳光下的肥皂泡和水面飘浮油膜出现彩色等都是薄膜干涉．C、薄膜于涉在技术上可以检查镜面和精密部件表面形状；精密光学过镜上的增透膜（当增透膜的厚度是入射光在膜中波长的1/4时，透镜上透光损失的能量最小，增强了透镜的透光能力．）

光的单缝衍射和双缝干涉 没有单缝干涉，干涉要两个以上才能互相影响 光的衍射是惠更斯原理：介质中波动传播到的各点,都可看成是发射子波的新波源,在以后的任何时刻,这些子波的包迹就是新的波阵面。就是证明光的波动性 光的干涉原理也是光的波动性，是相同频率，具有固定相位差的光波互相的叠加